点击图片查看原图| 韩丽萍 QQ：2850590600 手机：13552890098 电话：010-64717020-175 传真：010-84786709-666 邮件：sales8@handelsen.cn |
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长行程纳米定位，具有高力，PiezoWalk原理
应用领域工业级精度定位
半导体技术
半导体测试
晶圆检测
平版印刷术
纳米压印
纳米测量
强磁场和真空中运动
采用PiezoWalk步进驱动实现纳米精度和大进给力
数个压电陶瓷促动器在
PiezoWalk步进驱动中执行步进运动，将动轮向前推进。促动器控制允许以远低于一纳米的分
辨率进行最小步进和推进运动。
增量
编码器用于高精度位置测量
非接触式光学
编码器以极高的精度直接在平台上测量位置。非线性效应、机械作用或弹性形变不会对测量造成影响。
适用于复杂真空应用PI的压电电机原则上是真空兼容的，并且适合在强磁场中运行。驱动器的特殊版本适于此目的。压电陶瓷步进驱动器还可用于有较强紫外线辐射的无尘室或环境中。
规格
N-216.101 / N
-216.1A1N
-216.201 / N
-216.2A1
公差N-216NEXLINE
线性促动器
力量生成达600牛
保持力达800牛
行程20毫米
带分辨率的集成式直接测量线性编码器5纳米
订购信息
N-216.101
NEXLINE压电陶瓷步进高负载促动器，20毫米，300牛，开环
N-216.1A1
NEXLINE压电陶瓷步进高负载促动器，20毫米，300牛，线性编码器，5纳米分辨率
N-216.201
NEXLINE压电陶瓷步进高负载促动器，20毫米，600牛，开环
N-216.2A1
NEXLINE压电陶瓷步进高负载促动器，20毫米，600牛，线性编码器，5纳米分辨率
更多型号如下：
Physik Instrumente P-845.60
Physik Instrumente E-501.00
Physik Instrumente E-505.00
PI E-509.S1
PI M-235.5DG
PI M-406.4DG
PI C-863.12
PI M-403.4PD
PI M-404.4PD
PI M-521.DD1
PI P-620.1CD
PI L-611.9ASD
PI (Physik Instrumente)线性促动器原厂供货